晶圓潔凈廠房?jī)艋照{(diào)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則

名詞解釋：

1、晶圓

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999%。

1、晶圓潔凈廠房

潔凈廠房也叫無(wú)塵車(chē)間、潔凈室(Clean Room），是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在的空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。

3、潔凈空調(diào)系統(tǒng)

為了使?jié)崈羰覂?nèi)保持所需要的溫度濕度、風(fēng)速、壓力和潔凈度等參數(shù)，最常用的方法是向室內(nèi)不斷送入一量經(jīng)過(guò)處理的空氣，以消除潔凈室內(nèi)外各種熱濕干擾及塵埃污染。為獲得送入潔凈室具有一定狀態(tài)的空氣，就需要一整套設(shè)備對(duì)空氣進(jìn)行處理，并不斷送入室內(nèi)，又不斷從室內(nèi)排出一部分來(lái)，這一整套設(shè)備就構(gòu)成了潔凈空調(diào)系統(tǒng)。

摘要結(jié)合實(shí)例, 介紹了晶圓潔凈車(chē)間的凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)原則 、氣流組織形式、空氣處理過(guò)程, 并討論了其空調(diào)系統(tǒng)的自控問(wèn)題。

該工程位于遼寧沈陽(yáng)出口加工區(qū)內(nèi), 是集科研開(kāi)發(fā) 、生產(chǎn)制造為一體的專業(yè) SOI 晶圓生產(chǎn)廠房。其工藝流程為:原材料 SOI 晶圓片經(jīng)氧化、離子注入、鍵合、切割 、退火 、拋光等工序后成品出廠 。該項(xiàng)目主要生產(chǎn)廠房面積為 6 100 m 2 , 生產(chǎn)配套輔助建筑(含廢水處理站、特種氣體站 、柴油發(fā)電機(jī)房等)面積為 800 m 2 。其中潔凈室面積約為 1 600m2(一期), 2014 年 10 月試投產(chǎn), 用于工業(yè)化生產(chǎn)10 .16 ～ 20 .32 cm(4 ～ 8 in)SO I 晶圓。廠房區(qū)劃圖見(jiàn)圖 1 。該潔凈室潔凈級(jí)別主要為 ISO 4 .5 級(jí)和 ISO 5 .5 級(jí), 局部為 ISO 2 .5 級(jí)。室內(nèi)主要設(shè)計(jì)參數(shù)見(jiàn)表 1 。

圖 1 廠房平面區(qū)劃示意

根據(jù)建設(shè)方的要求, 除了滿足生產(chǎn)廠房工藝的凈化空調(diào)參數(shù)要求以外, 設(shè)計(jì)時(shí)還必須考慮到工藝設(shè)備不是一次安裝就位, 而是陸續(xù)投入運(yùn)行;且平時(shí)生產(chǎn)中, 排風(fēng)設(shè)備根據(jù)需要運(yùn)行, 房間內(nèi)排風(fēng)量是變化的 ;工藝設(shè)備的開(kāi)啟與關(guān)閉會(huì)帶來(lái)房間內(nèi)散熱量的變化。設(shè)計(jì)中應(yīng)采取相應(yīng)的控制措施確保各凈化空調(diào)參數(shù)滿足要求該工程除凈化空調(diào)系統(tǒng)外, 還涉及酸堿排風(fēng)處理系統(tǒng), 氫氣 、硅烷事故通風(fēng)系統(tǒng)以及潔凈走廊排煙系統(tǒng)。在此僅介紹凈化空調(diào)的設(shè)計(jì)。
凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
該工程凈化空調(diào)系統(tǒng)采用新風(fēng)機(jī)組 +干表冷盤(pán)管+風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FF U)的組合形式?？照{(diào)區(qū)域分為三部分, 即送風(fēng)上夾層靜壓箱、生產(chǎn)區(qū)、回風(fēng)下夾層。潔凈室內(nèi)的氣流流型為垂直單向流, 空氣由吊頂上的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FF U)中的高效過(guò)濾器過(guò)濾后送入生產(chǎn)區(qū),再經(jīng)地面帶孔板高架地板進(jìn)入回風(fēng)下 夾層, 通過(guò)兩側(cè)回風(fēng)夾道, 經(jīng)干表冷盤(pán)管冷卻后回至送風(fēng)上夾層,與送入上夾層的新風(fēng)混合后再送入生產(chǎn)區(qū)(見(jiàn)圖 2 , 因角度問(wèn)題, 左側(cè)回風(fēng)夾墻和干表冷器未出現(xiàn)在圖中)。新風(fēng)機(jī)組的送風(fēng)補(bǔ)充工藝排風(fēng)(酸、堿排風(fēng)等)及維持房間正壓所需風(fēng)量, 同時(shí)滿足生產(chǎn)區(qū)內(nèi)人員對(duì)新風(fēng)量的要求。由于室內(nèi)散濕量小, 熱濕比※+∞, 所以新風(fēng)處理到室內(nèi)空氣狀態(tài)點(diǎn)的機(jī)器露點(diǎn), 主要承擔(dān)新風(fēng)熱濕負(fù)荷和潔凈室內(nèi)的全部濕負(fù)荷 ;干盤(pán)管主要承擔(dān)潔凈室內(nèi)顯熱負(fù)荷。潔凈室內(nèi)的潔凈度由風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)保證。

圖2 潔凈室送風(fēng)流程示意

3空調(diào)負(fù)荷計(jì)算

夏季空調(diào)冷負(fù)荷按照GB 50019 —2003 《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》要求, 根據(jù)工程的實(shí)際情況計(jì)算得到。該工程工藝潔凈房間(除外延區(qū)) 均位于建筑內(nèi)區(qū), 外區(qū)為動(dòng)力站房與走廊, 所有外區(qū)冬季均設(shè)有散熱器供暖系統(tǒng), 所以圍護(hù)結(jié)構(gòu)負(fù)荷很小, 工藝設(shè)備及其他得熱負(fù)荷冬夏季變化不大, 因此潔凈室全年處于供冷工況。潔凈室內(nèi)散濕量較少, 室內(nèi)負(fù)荷以顯熱負(fù)荷(工藝設(shè)備負(fù)荷、照明負(fù)荷、人員負(fù)荷)為主。
該工程潔凈室潔凈級(jí)別高, 所需FFU 數(shù)量較多, 某些房間吊頂基本處于滿布狀態(tài), 在計(jì)算房間顯熱負(fù)荷時(shí)要計(jì)入FFU 的風(fēng)機(jī)溫升發(fā)熱量。
經(jīng)計(jì)算, 一期工程夏季空調(diào)系統(tǒng)耗冷量為1 120 kW 。選用 2 臺(tái) 814 kW 螺桿式水冷冷水機(jī)組(含工藝設(shè)備用冷量), 空調(diào)冷水為一次泵系統(tǒng)。
4 凈化送風(fēng)量及FFU 選型、布置根據(jù)GB 50073 —2001 《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》對(duì)潔凈室送風(fēng)量的要求, 分別計(jì)算各房間FFU 的吊頂布置率。該工程室內(nèi)吊頂高度為 3～ 4 m 。潔凈級(jí)別為 2 .5 , 4 .5 級(jí)的潔凈室送風(fēng)斷面風(fēng)速為0 .3 m/ s 。潔凈級(jí)別為 5 .5 級(jí)的潔凈室換氣次數(shù)為 80 h-1 , 潔凈級(jí)別為 6 級(jí)的潔凈室換氣次數(shù)為 60 h-1 。設(shè)計(jì)采用1 200 mm ×600 mm 的FFU , 單個(gè)FFU 的風(fēng)量為900 m /h 。經(jīng)計(jì)算, FFU 吊頂布置率見(jiàn)表 2 。

在FFU 選型時(shí)需注意機(jī)外余壓應(yīng)能克服回風(fēng)格柵 、回風(fēng)夾墻和干表冷器的阻力 ;同時(shí)考慮噪聲疊加效應(yīng), 單臺(tái)FFU A 聲級(jí)噪聲不應(yīng)大于 53 dB 。
5空氣處理

5.1M AU 新風(fēng)處理系統(tǒng)

一期工程共配 2 臺(tái)新風(fēng)機(jī)組, 單臺(tái)新風(fēng)機(jī)組的風(fēng)量為 25 000 m3 / h , 新風(fēng)處理到房間空氣狀態(tài)點(diǎn)的機(jī)器露點(diǎn)后送至潔凈室吊頂上方的靜壓箱, 與潔凈室回風(fēng)混合后再送入室內(nèi)。新風(fēng)機(jī)組的送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)為圖 3 中 L 點(diǎn)(未考慮風(fēng)機(jī)溫升)。新風(fēng)機(jī)組組成段如圖 4 所示。
由于機(jī)組風(fēng)量較大, 新風(fēng)處理焓差很大, 因此將表冷段分為兩部分以提高效率, 兩段的制冷量相同。圖 3 中 A 點(diǎn)為一級(jí)表冷器后的溫控點(diǎn)。L 點(diǎn)為夏季二級(jí)表冷器處理后的溫控點(diǎn)。
沈陽(yáng)地區(qū)4 , 10月份為不供暖月份, 此時(shí)期開(kāi)發(fā)區(qū)不能提供加熱用熱水, 因此在機(jī)組中設(shè)立電預(yù)熱段及電加熱段。在計(jì)算電加熱量時(shí)以4 , 10 月份平均氣溫(10 ℃)為基準(zhǔn)計(jì)算。考慮到在嚴(yán)寒季節(jié)沈陽(yáng)地區(qū)室外溫度最低可到 -22 ℃, 用熱水直接加熱室外新風(fēng)時(shí), 新風(fēng)溫度過(guò)低會(huì)導(dǎo)致?lián)Q熱不充分, 從而引起熱水盤(pán)管凍裂, 因此將電預(yù)熱段放置在熱水預(yù)熱段前, 新風(fēng)經(jīng)電預(yù)熱加熱至 5 ℃后再經(jīng)熱水盤(pán)管加熱至所需溫度, 在計(jì)算電預(yù)熱段耗電量時(shí)考慮了以上兩種情況下的要求。
由于開(kāi)發(fā)區(qū)無(wú)蒸汽源, 不能采用干蒸汽加濕的方式加濕空氣, 采用電加濕耗電量又很大, 因此冬季采用水噴淋加濕。水噴淋可以除掉空氣中的灰塵、SO 2 等有害物質(zhì), 對(duì)保證室內(nèi)空氣潔凈度和空氣質(zhì)量也有益處當(dāng)房間內(nèi)工藝設(shè)備不全部使用時(shí), 可能會(huì)導(dǎo)致房間內(nèi)發(fā)熱量不足, 所以在新風(fēng)機(jī)組中設(shè)置了二次加熱段(冬季用熱水加熱, 夏季及過(guò)渡季用電加熱), 通過(guò)提高送風(fēng)溫度來(lái)保證房間內(nèi)的溫度滿足設(shè)計(jì)要求。

圖 3 新風(fēng)處理焓濕圖

圖 4 新風(fēng)處理機(jī)組示意

5.2冷熱源及參數(shù)
新風(fēng)機(jī)組夏季冷源為 6 ℃/ 11 ℃冷水 , 由該建筑內(nèi)制冷機(jī)房提供, 二次加熱采用電加熱。冬季熱源為開(kāi)發(fā)區(qū)提供的 60 ℃/ 50 ℃熱水。當(dāng)室外溫度低于 5 ℃時(shí), 聯(lián)鎖開(kāi)啟電預(yù)熱器以保證熱水預(yù)熱盤(pán)管前的空氣溫度高于 5 ℃。干表冷盤(pán)管供回水溫度為 12 ℃/17 ℃。夏季制冷機(jī)開(kāi)啟時(shí), 由 6 ℃/ 11 ℃冷水通過(guò)板式換熱器換熱得到, 冬季制冷機(jī)停止運(yùn)行時(shí), 由設(shè)在屋頂?shù)睦鋮s塔作為冷源, 由冷卻水通過(guò) 板式換熱器換熱得到。
5.3空氣處理過(guò)程及 h-d 圖
新風(fēng)處理焓濕圖如圖 3 所示。W 1 , W 2 分別為夏季、冬季室外空氣狀態(tài)點(diǎn)。O 點(diǎn)為潔凈室內(nèi)空氣狀態(tài)點(diǎn)。S 為冬季水噴淋前的空氣 狀態(tài)點(diǎn)。L 為機(jī)器露點(diǎn), 也是新風(fēng)機(jī)組的送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)(未考慮風(fēng)機(jī)溫升)。夏季, 室外點(diǎn) W 1 經(jīng)過(guò)兩級(jí)表冷器處理到 L點(diǎn)。冬季室外溫 度較低, 通過(guò)電加熱與熱水加熱至S 點(diǎn), 再進(jìn)入水噴淋段等焓加濕至 L 點(diǎn)。

6自動(dòng)控制
6.1 溫度控制
潔凈室內(nèi)的溫度是由干表冷盤(pán)管調(diào)節(jié)控制的, 比較實(shí)測(cè)室內(nèi)溫度與設(shè)定值, 通過(guò) DDC 控制設(shè)在干表冷盤(pán)管回水管上的電動(dòng)兩通閥的開(kāi)度, 改變水流量, 使?jié)崈羰业臏囟缺３衷诳刂品秶鷥?nèi)。新風(fēng)溫度處理到潔凈室內(nèi)空氣狀態(tài)點(diǎn)的機(jī)器露點(diǎn)溫度后送入送風(fēng)上夾層中, 可以負(fù)擔(dān)部分房間冷負(fù)荷, 若房間內(nèi)工藝設(shè)備開(kāi)啟數(shù)量較少, 在其發(fā)熱量減小到即使完全關(guān)閉干表冷盤(pán)管依 然使室內(nèi)溫度低于設(shè)定溫度的情況下, 可開(kāi)啟新風(fēng)機(jī)組再熱盤(pán)管(或電加熱器), 提高送風(fēng)溫度來(lái)達(dá)到房間內(nèi)的溫度要求。
6.2濕度控制
該工程潔凈室內(nèi)散濕量很小, 濕負(fù)荷基本可以忽略不計(jì)。通過(guò)控制新風(fēng)的送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)來(lái)調(diào)節(jié)房間內(nèi)相對(duì)濕度以達(dá)到設(shè)定要求, 新風(fēng)的控制送風(fēng)點(diǎn)為房間的機(jī)器露點(diǎn)。夏季, 露點(diǎn)傳感器測(cè)得新風(fēng)狀態(tài)參數(shù), 并與設(shè)定值比較, 通過(guò)自控程序調(diào)節(jié)二級(jí)表冷器回水管上的電動(dòng)兩通閥的開(kāi) 度以調(diào)整新風(fēng)送風(fēng)參數(shù), 使房間內(nèi)濕度滿足要求。冬季, 根據(jù)濕度傳感器反饋的信號(hào), DDC 控制一次加熱器回水管上電動(dòng)兩通閥的開(kāi)度, 改變水流量, 調(diào)整新風(fēng)送風(fēng)參數(shù)。過(guò)渡季節(jié)通過(guò)控制一級(jí)表冷器回水管上的電動(dòng)兩通閥或電預(yù)熱器, 滿足房間的濕度要求。
6.3 壓差控制

GB 50073 —2001 《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中要求潔凈室與周?chē)目臻g必須維持一定的靜壓差, 目的是為了防止低潔凈級(jí)別潔凈室內(nèi)的空氣進(jìn) 入高潔凈級(jí)別潔凈室內(nèi), 避免對(duì)高級(jí)別潔凈室的潔凈度產(chǎn)生影響。維持壓差風(fēng)量的確定一般采用換氣次數(shù)估算, 該工程潔凈房間全部為無(wú)外窗房間, 氣密性較好, 各房間維持壓差所需的換氣次數(shù)如表 3 所示。

為保證各潔凈房間的壓差, 在每個(gè)房間內(nèi)均安裝壓差傳感器。需排風(fēng)的工藝設(shè)備的投入運(yùn) 行狀態(tài)不同時(shí), 也就是排風(fēng)機(jī)所負(fù)擔(dān)排風(fēng)量發(fā)生變化時(shí), 會(huì)直接影響其他需排風(fēng)設(shè)備的排風(fēng)量, 造成房間正壓值變化。為適應(yīng)這種變化, 在排風(fēng)支管上設(shè)定風(fēng)量閥和變頻排風(fēng)機(jī),同時(shí)在每個(gè)房間的新風(fēng)管路上安裝變風(fēng)量控制器(V AV Bo x)。將壓差傳感器測(cè)量值與設(shè)定值的偏差值作為輸入信號(hào)傳至自控程序, 自控程序再輸出信號(hào)調(diào)整VAV Box 的開(kāi)度。這樣, 在關(guān)閉或打開(kāi)排風(fēng)設(shè)備導(dǎo)致排風(fēng)量發(fā)生變化時(shí), VAV Box 可自動(dòng)改變送風(fēng)量維持房間內(nèi)所需正壓(V AV Box 的最小開(kāi)度新風(fēng)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于房間內(nèi)人員對(duì)新風(fēng)量的要求)。同時(shí), 在新風(fēng)總管上設(shè)置靜壓傳感器, 在新風(fēng)機(jī)組風(fēng)機(jī)上配變頻器, 當(dāng) VAV Box 改變房間送風(fēng)量時(shí), 新風(fēng)總管上靜壓發(fā)生改變, 靜壓傳感器反饋信號(hào)至變頻器使風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速改變, 從而改變新風(fēng)機(jī)組的送風(fēng)量。

7 結(jié)語(yǔ)
經(jīng)過(guò)一年的建設(shè), 該工程竣工。雖然其規(guī)模較小, 卻代表著現(xiàn)今半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室設(shè)計(jì)的主流思想。溫度 、濕度 、壓差均可以通過(guò)自控裝置自動(dòng)調(diào)節(jié), 降低了因?yàn)楣に嚄l件改變破壞潔凈室環(huán)境的概率。但大量的 FFU 集中布置在吊頂上, 其噪聲控制等問(wèn)題需要繼續(xù)探討。